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      光柵起偏器的參數優(yōu)化(2)
      時(shí)間:2013-02-06 23:21來(lái)源:訊技光電作者: 技術(shù)部點(diǎn)擊:次打印

       
        
      局部參數優(yōu)化:
       
      使用局部參數優(yōu)化的參數優(yōu)化文件存儲在“Scenario_315.01_Optimization_of_Grating_Polarizer_03”中。
       
      起始值為:縫寬:50nm,規劃深度200nm;
       
      參數和優(yōu)化函數被嚴格定義,以便在TE透過(guò)率,偏振對比度和TE透過(guò)率均勻誤差之間找到平衡。
       
       

       
      參數定義:
       
      規劃深度為20-200nm,權重1e20
       
      縫寬10—190nm權重1e20
       
      優(yōu)化函數定義:
       
      ——TE效率最小值被最大化(全波段)
       
      ——偏振對比度大于50(全波段)
       
      ——均勻誤差最小化,但對于通用優(yōu)化函數只具有較低影響。
       

       
      選擇下山簡(jiǎn)法進(jìn)行局部?jì)?yōu)化。
       
      左圖顯示了最小化TE透過(guò)率,右圖顯示了最小化偏振對比度。
       
         
      優(yōu)化好的光路流程圖存儲在“Scenario_315.01_Optimization_of_Grating_Polarizer_04”中。
       
      優(yōu)化過(guò)的參數為:
       
      縫寬:46nm;規劃深度200nm;最小化偏振對比度50;TE透過(guò)率的均勻誤差7%
       
      結論:
       
      偏振分析器允許評估偏振光柵的波長(cháng)和角獨立性。
       
      Parameter Run允許對參數空間進(jìn)行全局搜索找到局部參數優(yōu)化的合適起始點(diǎn)。
       
      最后使用下山簡(jiǎn)法進(jìn)行偏振光柵的局部參數優(yōu)化。
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