光柵的分析和優(yōu)化(2)

 

減反光柵的設計
 

 可以用二維和三維光柵來(lái)設計防反射結構。VirtualLab為光柵和可編程分界面提供了廣泛的模版，為描述用戶(hù)自定義光柵結構提供了無(wú)限制的靈活性。參數運行和參數優(yōu)化可用于給定目標函數條件下的結構優(yōu)化，例如要求反射率最小。 
 

光柵和反射率取決于立柱結構的直徑：反射率最低在140納米處
 

例如枕型亞波長(cháng)光柵可以被用來(lái)控制一個(gè)表面的反射率。VirtualLab提供了傅立葉模式法來(lái)分析與優(yōu)化3D光柵結構. 還可對其它更多的參數進(jìn)行考察，如波長(cháng)。 
 

偏振光柵的設計
 

光柵可以用來(lái)控制透射光的偏振。VirtualLab可以設計這種偏振光柵。
 

對于可見(jiàn)光的光譜（左），用于改變狹縫寬度和矩形光柵的調制深度的最低偏振對比度可以被計算（右）。
 

利用偏振分析器，可以計算可見(jiàn)光的整個(gè)光譜范圍的偏振對比度。這使得我們可以對光柵在x軸和電場(chǎng)的y分量之間的對比度進(jìn)行優(yōu)化。對于矩形光柵，可以計算出狹縫寬度和調制深度的最優(yōu)值。
 

光學(xué)系統中的光柵
 

光柵也可以用作光學(xué)系統，如成像系統或晶圓檢查系統。在這種情況下，光柵被一般的入射光照射。這需要將模型從理想無(wú)限的平面波推廣到一般的平面波。
 

成像系統具有一個(gè)光柵元件
 

這種系統的模擬是基于VirtualLab場(chǎng)追跡的方法。在一個(gè)模擬計算中集合不同的模擬技術(shù)。亞波長(cháng)光柵使用FMM進(jìn)行嚴格分析。在低發(fā)散入射波的情況下可以使用快速的旁軸近似方法。對于特殊的應用可以使用可編程元件來(lái)發(fā)揮用戶(hù)自定義方法的靈活性靈活性。