案例190（3.0）
該應用案例描述了具有亞波長(cháng)結構尺寸的柱型抗反射光柵的嚴格分析以及一個(gè)兩步優(yōu)化。此外，對圓柱直徑與高度的影響進(jìn)行了分析。
1. 建模任務(wù)
2. 建模任務(wù):介質(zhì)參數
3. 結構參數
優(yōu)化過(guò)程中保持不變的參數：
1. 圓柱的水平間距：250nm
2. 圓柱的垂直間距：125nm
3. 列距：125nm
優(yōu)化過(guò)程中變化的參數：
1. 圓柱高度(圓柱直徑= )
2. 圓柱直徑(柱高來(lái)自1中優(yōu)化結果)
4. 3維柱型結構的建模
VirtualLab為設計3 維柱型結構提供任意選項。
在LightTrans 定義的庫中可以選擇不同的柱型和基底材料。
如，可選擇矩形柱或橢圓柱。
通過(guò)選擇足夠的柱間距和適當的“列距”，可實(shí)現多種橫向布局(如矩形或六邊形)。
5. 柱高的優(yōu)化
利用參數運行文檔，找到最佳的柱高(最低的反射率)
反射率最低值在維持在~110nm的柱高范圍內(對于正入社的TM偏振光)。
6. 柱直徑的優(yōu)化
相似的參數運行可顯示最佳的柱直徑(考慮到優(yōu)化柱高)。
反射率最低值在柱直徑~140nm處獲得(對于正入社的TM偏振光)。
7. 優(yōu)化后柱型光柵結構的結果
柱高：110nm
柱直徑：140nm
8. 角度關(guān)系的分析
當入射角小于50°時(shí)，抗反射結構顯著(zhù)的降低反射率(近似于0)。
由于采用偏振光(TM)，以55°入射在無(wú)柱狀抗反射結構的平面上時(shí)，反射率為0(所謂的布儒斯特角)。
9. 波長(cháng)靈敏度分析
抗反射結構在寬光譜范圍內(可見(jiàn)光范圍)降低了反射率，此處顯示的是垂直入射。
利用在532nm的優(yōu)化策略使反射率最低值出現在532nm處
10. 總結
VirtualLab中的光柵工具箱可對亞波長(cháng)兩級的3維光柵結構進(jìn)行嚴格的分析。
這種分析采用了VirtualLab光柵工具箱中的全矢量傅里葉模態(tài)法。
利用參數運行，可進(jìn)行光柵參數的優(yōu)化以及光學(xué)函數的執行。
利用參數運行功能，也可對3維周期結構與入射角度和波長(cháng)的關(guān)系進(jìn)行分析。
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