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      VirtualLab Fusion應用:F-Th

      F-Theta物鏡激光掃描系統的性能分析(2)
      時(shí)間:2016-10-17 11:27來(lái)源:訊技光電作者: 技術(shù)部點(diǎn)擊:次打印
      在F-Theta物鏡焦平面上,光束的橫向位置線(xiàn)性依賴(lài)于球形入射角Theta(θ)和有效焦距(EFL)。
      理想的球入射角Theta和Phi可以由探測器平面上的光束理想橫向位置(x,y)計算得到。
       
      通過(guò)參數耦合進(jìn)行系統調整
       
      如前面的掃描過(guò)程所示,反射鏡傾斜和探測器平面上點(diǎn)位置之間的非線(xiàn)性關(guān)系可以由參數耦合中補償。
      因此,對于某點(diǎn)的位置,掃描鏡的方向可使用三維反射定律來(lái)計算。
      使用參數耦合工具,系統可根據三維反射定律來(lái)進(jìn)行調整。
       


       
      1.用戶(hù)在成像面輸入光束的理想橫向位置
      2.系統參數
      3.輸入變量
      4.源代碼編輯器(腳本定義,實(shí)現實(shí)際的補償。)
       
      參數耦合腳本的輸入變量也可以通過(guò)LPD的參數預覽來(lái)進(jìn)行訪(fǎng)問(wèn)。
       

       
      軸上的3D光線(xiàn)追跡分析
       
      file used: LSC.0002_LaserScanning_F-ThetaObjective_01_RayTracing.lpd
       
      離軸P(25,25)mm上的3D光線(xiàn)追跡分析
       
       
      再次進(jìn)行掃描過(guò)程
       
      使用參數運行的掃描模式,從-10mm到10mm,在探測器平面逐步地(每個(gè)維度5步)上改變理想光束x位置和y位置,以完成掃描過(guò)程。
      從參數運行文檔,可以繪制場(chǎng)曲和畸變的期望的圖像,如LSC.0001所示。
       
      file used: LSC.0002_LaserScanning_F-ThetaObjective_04_ScanningProcedurePos.run
       
      掃描過(guò)程中的組合點(diǎn)列圖
       
       
      file used: LSC.0002_LaserScanning_F-ThetaObjective_04_ScanningProcedurePos.run
      從參數運行(Parameter Run)中,可以生成所有單點(diǎn)圖的組合點(diǎn)圖。
      點(diǎn)位置位于等距網(wǎng)格的原因是使用參數耦合(Parameter Coupling)工具補償反射鏡傾斜到期望輸入掃描角的非線(xiàn)性行為。
      指定掃描過(guò)程的完整光線(xiàn)追跡數據可以在一個(gè)單獨文檔中獲得;冊u估
      可以進(jìn)行一維畸變評估(輸入掃描角度Theta或者探測器橫向位置)。
      下圖顯示了使用F-Theta而不是一個(gè)非球面透鏡以顯著(zhù)改善F-Theta畸變(LSC.0001)。
      LSC.0001中可以找到計算畸變的一個(gè)詳細解釋。
       
      file used: LSC.0002_LaserScanning_F-ThetaObjective_05_FieldCurvatureDistortion.run results stored in: LSC.0002_LaserScanning_F-ThetaObjective_05_FiedlCurvatureDistortion.da
       
      場(chǎng)區評估
       
      以或者以輸入掃描角度Theta或者以探測器橫向位置來(lái)進(jìn)行一維場(chǎng)曲評估。
      下圖顯示了使用F-Theta物鏡而不是一個(gè)非球面透鏡場(chǎng)曲的顯著(zhù)改善(LSC.0001)。
      可以在LSC.0001找到場(chǎng)曲計算的詳細說(shuō)明。
       
      file used: LSC.0002_LaserScanning_F-ThetaObjective_05_FieldCurvatureDistortion.run
      • A detailed explanation of the calculation of the field curvature can be found in LSC.0001.
      results stored in: LSC.0002_LaserScanning_F-ThetaObjective_07_FiedlCurvatureDistortion.da
       
      詳述應用案例
      場(chǎng)追跡的模擬和結果
       
      分析光束剖面
      幾何場(chǎng)追跡引擎可以在一個(gè)特定的探測器位置上更為精確地評估光束剖面,位置和直徑。
      因此,使用聚焦區域探測器,通過(guò)幾何場(chǎng)追跡在幾何區域內傳播場(chǎng)并且在衍射區域內求解光束傳播的衍射積分。
      將光束參數探測器(Beam Parameter Detector)應用到傾斜探測器的場(chǎng)以獲得束腰距離dw。因此,場(chǎng)曲率值ZFC可以用物理光學(xué)方法進(jìn)行計算。
       
      file used: LSC.0001_LaserScanning_Asphere_07_BeamProfileOffAxis.lpd
       
      在軸上P(0,0)mm分析光束剖面
      在軸上,對于強度分布來(lái)說(shuō),光束像差扮演一個(gè)次要角色。
      球形相位可以由場(chǎng)追跡計算,相對于光線(xiàn)追跡的結果顯示了附加的離焦。這個(gè)離焦現象是由光束的衍射效應造成的。
       
      file used: LSC.0002_LaserScanning_F-ThetaObjective_08_BeamProfileOnAxis.lpd
       
      光束參數探測器確定光束直徑和質(zhì)心位置和束腰。
      由更精確的場(chǎng)追跡獲得的光束直徑,明顯高于工光線(xiàn)追跡獲得的結果。
      附加的物理光學(xué)離焦由場(chǎng)追跡直接影響場(chǎng)曲值進(jìn)行計算,如下表所示。
       
       
      外軸P(0,25)mm上分析光束剖面
      一般來(lái)說(shuō),離軸場(chǎng)軸上場(chǎng)由不同的中心方向與。
      因此可以通過(guò)傾斜探測器以避免線(xiàn)性相位疊加,正如LSC.0001中提到。
      像散球相位表明在x和y方向不同光束尺寸組形成的一個(gè)離焦光斑。
       

       
      由更準確的場(chǎng)追跡獲得光直徑束明顯高于由光線(xiàn)追跡獲得的結果。此外,由于像散,在x和y方向上所獲得的光束直徑有所不同。
      由場(chǎng)追跡計算的附加物理光學(xué)離焦直接影響了場(chǎng)曲的值,如下表所示。
      光束位置(=光束質(zhì)心)相比于光線(xiàn)追跡的結果也略有不同。

       
      其他的VirtualLab特征
       
      在此案例中,你將從以下選擇的特征中獲益:
      各種探測器
      測量的焦點(diǎn)位置取決于鏡掃描角
      在探測器平面測量的光束位置
      使用聚焦區域探測器計算聚焦區域中的場(chǎng)
      參數耦合
      對于掃描光學(xué)的期望輸入掃描角度Theta,調整反射鏡方向參數運行
      估計掃描場(chǎng)尺寸
      生成場(chǎng)曲和畸變圖樣
       
      總結

      VirtualLab可以:
      使用雙軸掃描鏡和F-Theta物鏡模擬激光掃描系統
      在目標平面分析偏轉光束
      由光線(xiàn)追跡計算掃描場(chǎng)尺寸,場(chǎng)曲和畸變
      由幾何場(chǎng)追跡精確計算光束剖面
      場(chǎng)追跡可以精確分析光束位置和焦點(diǎn)
       
      進(jìn)一步閱讀
       
      進(jìn)一步閱讀:參考文獻
       
      [1] Von Scanlab7 - Eigenes Werk, CC BY-SA 3.0, https://commons.wikimedia.org/w/index.php?curid=16724483
      [2] Frank Wyrowski ; Huiying Zhong ; Site Zhang ; Christian Hellmann; Approximate solution of Maxwell’s equations by geometrical optics. Proc. SPIE 9630, Optical Systems Design 2015: Computational Optics, 963009 (October 15, 2015)
       
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      以下文件給出一個(gè)詳細的描述,如何在VirtualLab中設置和優(yōu)化激光系統:
      入門(mén)視頻:
      介紹光路圖
      介紹參數運行
      使用案例:
      元件的定位和取向
      光線(xiàn)追跡引擎的設置和結果演示
      使用參數運行文檔
      一維數值數據陣列多重圖像模式
      大孔徑透鏡系統-通過(guò)幾何場(chǎng)追跡+進(jìn)行分析
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