HSL.002(4.0)
摘要：這個(gè)案例分析了由衍射擴散器元件實(shí)現的單色準分子激光光束的均勻化，最終生成一個(gè)圓形高帽。
1.建模任務(wù)
2.光源參數
• LED模型：Gaussian Type Planar Source（高斯型平面光源）
• 光源平面直徑：100μm×100μm
• 空間相干長(cháng)度：3μm×3μm
• 相應的發(fā)散角（HWHM）：～0.89×0.89°
• 波長(cháng)：351nm
3. 衍射擴散器透過(guò)率函數
一個(gè)衍射勻光元件,可以使用一個(gè)具有如下技術(shù)參數的衍射擴散器透過(guò)率函數來(lái)模擬：
• Phase-Only元件
• 采樣距離：5μm
• 大�。�640μm×640μm
• 相位級：8
• 生成的目標模式：圓形高帽
4. 光源的輻射特性
光源的輻射特征由光源平面尺寸以及以下參數定義:
• 發(fā)散角
• 空間相干長(cháng)度
• 或模式的腰束半徑。
5. 空間擴展光源建模
• Gaussian Type Planar Source通過(guò)數個(gè)相同的橫向偏移高斯模式,在光源的出射面以非相干的形式來(lái)模擬一個(gè)部分相干光源。
• 對于這個(gè)案例，最終使用了11x11個(gè)足夠多的橫向模式來(lái)模擬光源。
6.系統：光路圖（LPD）
• 在光源和擴散器元件之間，放置了一個(gè)焦距為20mm的理想透鏡以用于光源的準直。
• 衍射擴散器元件由Stored (Transmission) Function（存儲（透過(guò)率）函數）表示，在此設置所設計的衍射擴散器的數據。
• 這個(gè)元件的設計和優(yōu)化由衍射光學(xué)工具箱（Diffractive Optics Toolbox）完成。
7. 存儲透過(guò)率函數
• 對于規律的量化相位透過(guò)率函數，可以用存儲函數元件中的縮放因子來(lái)模擬可能產(chǎn)生的加工偏差。
8. 生成的諧波場(chǎng)集（光視圖）
• 模擬結束后將返回一組諧波場(chǎng)集（HFS）,其包含了目標平面上不同模式的電場(chǎng)復振幅分布。
• HFS的相鄰光視圖顯示了所有模式的 疊加。
9. 生成的諧波場(chǎng)集（數據視圖）
• 數據視圖分別顯示了每個(gè)模式。
• 每個(gè)模式生成一個(gè)稍微不同的偏移的散斑目標圖樣。
• 由于光源的所有橫向模式的生成的偏移圖樣的疊加，因此散斑會(huì )消失，并獲得均勻化效果。
10.評估價(jià)值函數
為了評估所獲得的圓形平頂光束的質(zhì)量，使用了兩個(gè)可編程探測器來(lái)計算其參數：
• 一致性誤差和
• 窗口效率
在定義區域內對高帽進(jìn)行分析。
11.評估的不同區域
12. 存儲諧波場(chǎng)集
包含不同模式的光場(chǎng)稱(chēng)之為諧波場(chǎng)集。
由于諧波場(chǎng)集可能包含上百種模式，那么數據量對RAM內存來(lái)說(shuō)可能會(huì )太大。
對于這樣的情況，VirtualLab Fusion允許用戶(hù)或者進(jìn)行一個(gè)標準的設置，或者明確指定一個(gè)確定的諧波場(chǎng)的數據存儲位置（在RAM或者硬盤(pán)中）。
13. 臨時(shí)文件的存放位置
基于模式的數量和每個(gè)模式采樣點(diǎn)的數量，則要求大量的硬盤(pán)空間來(lái)存儲單個(gè)諧波場(chǎng)集。
可以通過(guò)File菜單→Global Options→Other 設置來(lái)改變存放臨時(shí)文件的硬盤(pán)目錄。
建議硬盤(pán)空間超過(guò)100GB。
14.結果
結果（左上圖：?jiǎn)文�；右上圖：所有11×11模式）灰度圖，根據線(xiàn)性強度探測器。
鄰近的數值探測器結果。
15.模擬結果
16.總結
• VirtualLab Fusion可以模擬空間部分相干光源。
• 通過(guò)使用許多不同的圖形和數值評估，可以對一個(gè)均勻化系統（如使用衍射擴散器）進(jìn)行一個(gè)非常有效且有益的分析。
|
