分析高數值孔徑物鏡的聚焦特性

摘要

 

高數值孔徑的物鏡廣泛用于光刻、顯微等方面。 因此，在仿真聚焦時(shí)考慮光的矢量性質(zhì)是至關(guān)重要的。VirtualLab可以支持此類(lèi)透鏡的光線(xiàn)和場(chǎng)追跡分析。通過(guò)場(chǎng)追跡分析，可以清楚地顯示出由于矢量效應引起的非對稱(chēng)焦點(diǎn)。相機探測器和電磁場(chǎng)探測器可以方便地研究聚焦區域的場(chǎng)，也可以深入研究矢量效應。 


 

建模任務(wù)

 

概述

 

•案例系統已預先設置了高數值孔徑物鏡。

•接下來(lái)，我們演示如何按照VirtualLab中建議的工作流程在示例系統上執行仿真。

 

光線(xiàn)追跡仿真

 

•首先選擇“光線(xiàn)追跡系統分析器”作為模擬引擎。

•單擊go！

•獲得了3D光線(xiàn)追跡結果。

 

光線(xiàn)追跡仿真

 

•然后，選擇“光線(xiàn)追跡”作為模擬引擎。

•單擊go！

•結果得到點(diǎn)圖（二維光線(xiàn)追跡結果）。

 

場(chǎng)追跡仿真

 

•切換到場(chǎng)追跡，然后選擇“第二代場(chǎng)追跡”作為模擬引擎。

•單擊go！

 

 

場(chǎng)追跡仿真（相機探測器）

 

•上圖僅顯示Ex和Ey場(chǎng)分量積分的強度。

•下圖顯示Ex、Ey和Ez分量積分的強度：由于在高數值孔徑情況下Ez分量相對較大，因此可見(jiàn)明顯的不對稱(chēng)性。

 

場(chǎng)追跡仿真（電磁場(chǎng)探測器）

•使用電磁場(chǎng)探測器可獲得所有電磁場(chǎng)分量。

 

 

場(chǎng)追跡仿真（電磁場(chǎng)探測器）
 

•使用電磁場(chǎng)探測器可獲得所有電磁場(chǎng)分量。

 

文件信息

 

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