F-Theta掃描透鏡的性能評估

摘要

 

在激光掃描系統中，F-Theta鏡頭通常被設計用于提供高性能。使用此類(lèi)透鏡，在目標平面上的聚焦點(diǎn)位移與焦距和掃描角度的產(chǎn)生成正比。這使得它們成為基于Galvo掃描器的激光材料處理系統的標準鏡頭。在VirtualLab Fusion中掃描源的幫助下，通過(guò)測量實(shí)際光斑位置與期望值之間的偏差和不同角度下光斑的大小，分析了給定F-Theta透鏡的性能。

 

建模任務(wù)

 

性能評估——光斑直徑測量

 

性能評估——光斑位置偏差

 

走進(jìn)VirtualLab Fusion

 

VirtualLab Fusion的工作流程
 

 從Zemax OpticStudio®導入透鏡系統

- 從Zemax導入光學(xué)系統 [用例] 

 

 分析實(shí)際透鏡系統的成像性能

- 分析高NA物鏡聚焦 [用例] 

 

 利用參數運行檢查不同參數的影響

- 參數運行文檔的使用 [用例] 

 

VirtualLab Fusion技術(shù)

  

 

文件信息

 

延伸閱讀
- 激光掃描系統性能分析
- 如何建立掃描光源