泰伯效應

在衍射光學(xué)中，當周期性結構被準直光照射時(shí)，可以觀(guān)察到在物體后面周期性距離處形成的周期性結構的圖像。這就是眾所周知的 Talbot 效應（用所謂的 Talbot 距離來(lái)描述周期性間隔），它已經(jīng)在例如光刻中得到了常規應用。

 

利用快速物理光學(xué)建模和設計軟件VirtualLab Fusion的場(chǎng)跟蹤技術(shù)，可以充分研究這種效應及其應用。請看下面的例子，在這些例子中，我們用線(xiàn)性和交叉圖案演示Talbot效應的基本原理，并更仔細地研究特定的光刻應用，以產(chǎn)生納米結構。

 

圓錐相位掩模版的泰伯成像
 

 

在VirtualLab Fusion中對帶有一層圓錐體的相位掩模板進(jìn)行了嚴格的建模。檢測到不同的Talbot圖像，其中柱圖案在主圖像平面中再現，而孔圖案在次圖像平面中再現。

 

泰伯效應的建模
 

 

我們演示了Talbot效應的建模，Talbot效應是一種眾所周知的來(lái)自周期結構(如光柵)的近場(chǎng)衍射效應。