摘要
直接設計非近軸衍射分束器仍然是一個(gè)挑戰。由于衍射角相當大，元件的特征尺寸與工作波長(cháng)在相同的數量級上。因此，設計過(guò)程超出了近軸建模方法。因此，在這個(gè)例子中，迭代傅里葉變換算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始設計結構，和傅里葉模態(tài)方法(FMM)隨后應用于嚴格的性能評估。
設計任務(wù)
光柵級次分析模塊設置
使用常規的分束器會(huì )話(huà)2編輯器，VirtualLabFusion提供了一個(gè)指導工具，允許用戶(hù)一步一步地指定所有影響分束器設計的參數。
將傳輸函數轉換為結構
1. 通過(guò)應用設計帶中的結構設計，所得到的傳輸函數可以轉換為結構輪廓。
2. 對于此轉換，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的結構與初始相位函數成正比。
3. VirtualLab Fusion提供計算出的形式已經(jīng)預設在光路中。
4. 要在不同的模擬場(chǎng)景中使用這種結構，需要從組件內部獲取實(shí)際的采樣表面或指定的堆棧。
衍射分束器表面
衍射光束求解器-薄元素近似(TEA)
光柵級次和可編程光柵分析儀
光柵級次分析儀提供了所有衍射階的效率的概述，作為許多可能的輸出。
使用可編程光柵分析儀，用戶(hù)可以指定應計算的值。
例如:總效率、均勻性誤差、0階效率
設計與評估結果
- 相位功能設計
- 結構設計
- TEA評價(jià)
- FMM評估
- 高度標度（公差）
純相位傳輸設計
結構設計
進(jìn)一步分析
•高度剖面的縮放對零階有很大影響。
•可以利用這一點(diǎn)來(lái)糾正零階不期望的效率，從而改善均勻性。
•參數運行是執行此類(lèi)調查的最佳工具。
使用TEA進(jìn)行性能評估
使用FMM進(jìn)行性能評估
進(jìn)一步優(yōu)化–設計#1的零階階次優(yōu)化
進(jìn)一步優(yōu)化–設計#2的零階階次優(yōu)化
進(jìn)一步優(yōu)化–設計#3的零階階次優(yōu)化
VirtualLab Fusion技術(shù)
文檔信息
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