摘要
光柵是光學(xué)中最常用的衍射元件之一。如今，它們經(jīng)常被用于復雜的系統中，并與其他元件一起工作。在這種情況下，非常需要將光柵不僅僅是作為孤立的元件來(lái)模擬，而是與系統的其余部分結合，以評估整個(gè)系統性能。VirtualLab Fusion提供了一個(gè)獨特的光柵元件，允許在光路中輕松地包含各種不同形狀的光柵，無(wú)論是一維周期光柵(層狀)，二維周期光柵，或體(布拉格)光柵。本用例介紹了該元件的功能，包括光柵級次的設置和堆棧的定位。
系統內光柵建模
在一般光路中，光柵元件可以插入到系統的任何位置。
這使得在一個(gè)復雜的系統中對光柵進(jìn)行建模，并因此評估整個(gè)系統的性能成為可能，同時(shí)考慮光柵的可能影響。
光柵元件可以通過(guò)元件 > 單個(gè)表面&堆棧 > 光柵找到。
附著(zhù)光柵堆棧
為了描述系統內的光柵，光柵堆�？偸歉街�(zhù)在一個(gè)虛擬參考面上(僅平面)。
元件的大小僅用于在3D光線(xiàn)追跡視圖中顯示；仿真中不考慮孔徑效應。
參考面可以在三維系統視圖中可視化，以幫助排列光柵。
所應用的光柵結構可以是一維周期(層狀)，也可以是二維周期(交叉光柵)。
堆棧的方向
堆棧的方向可以用兩種方式指定：
它既可以應用在表面的正面，也可以應用在背面(在固體標簽中定義)。
請注意，如果堆棧位于正面，堆棧將繞Z軸旋轉180°。這會(huì )影響堆棧的內部坐標系，需要在定義高度輪廓時(shí)加以考慮。
基底的處理、菲涅耳損耗和衍射角
作為一種慣例，往往忽略基底的影響，例如衍射效率的計算。
然而，任何實(shí)際的光柵結構必須建立在基底上，因此，我們使用一個(gè)平面元件和中間的自由空間延伸對其進(jìn)行建模。
平面的建模包括菲涅耳效應(S矩陣求解器)。
高級選項和信息
在求解器菜單中有幾個(gè)高級選項可用。
求解器選項卡允許編輯所使用FMM(“傅里葉模態(tài)法”，也被稱(chēng)為RCWA，“嚴格耦合波分析”)算法的精度設置。
既可以設置考慮的總級次數，也可以設置倏逝級次數。
如果考慮金屬光柵，這可能是有用的。相反，對于介質(zhì)光柵，默認設置就足夠了。
結構分解
結構分解選項卡提供了關(guān)于結構分解的信息。
層分解和轉換點(diǎn)分解設置可以用來(lái)調整結構的離散化。默認設置適用于幾乎所有光柵結構。
此外，還提供了有關(guān)層數和轉換點(diǎn)數的信息。
分解預覽按鈕提供了用于FMM計算的結構數據的描述。折射率用色標表示。
光柵級次通道選擇
可以定義具體的透射和反射級次，以供模擬中考慮。在表面被從背面照明的情況下，也可以有不同的級次。
并不總是需要考慮所有的衍射級，我們建議只使用那些感興趣的，以確保更有效的模擬。
光柵級次通道的選擇不影響FMM計算中的內部衍射級次(即精度)。
光柵的角度響應
在VirtualLab Fusion中，光柵元件的運算符通過(guò)FMM(又名RCWA)在k域中建模。
對于給定的光柵，其衍射行為與輸入場(chǎng)有關(guān)。
不同波長(cháng)/偏振態(tài)下的衍射效率不同，不同入射角度下的衍射效率也不同。
為了解決角度相關(guān)的衍射行為，可能需要指定k域(角空間)的采樣點(diǎn)。請參閱下面的示例以進(jìn)一步說(shuō)明。
例：諧振波導光柵的角響應
諧振波導光柵的角響應
文件信息
延伸閱讀
- 使用界面配置光柵結構
- 使用特殊介質(zhì)配置光柵結構
- VirtualLab Fusion技術(shù)FMM / RCWA [S矩陣]
- Czerny-Turner設置
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