非傍軸衍射分束器的設計與嚴格分析

摘要
 

  

非傍軸衍射光束分束器的直接設計仍然是一個(gè)挑戰。由于衍射角度相當大，元件的特征尺寸與光的波長(cháng)相近。因此，通常使用的傍軸建模方法變得不準確，需要嚴格的技術(shù)。因此，在這個(gè)例子中，迭代傅里葉變換算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射光學(xué)元件（DOE）的初步設計，并且之后使用傅里葉模式方法（FMM）也稱(chēng)為嚴格耦合波分析（RCWA）進(jìn)行嚴格的性能評估，包括在高度變化的情況下對優(yōu)點(diǎn)函數變化的研究。

 

任務(wù) 

• 使用傍軸近似（TEA）進(jìn)行衍射1:7×7光束分束器的初步設計，用于結構設計部分。

• 使用嚴格分析（FMM/RCWA）對性能進(jìn)行分析和進(jìn)一步優(yōu)化，以提高均勻性并評估零階的影響。

 

 

模擬與設置：工具簡(jiǎn)介與整體流程概覽

連接建模技術(shù)：衍射光束分束器

  

 

通過(guò)配置助手和IFTA進(jìn)行相位設計

 

 

將傳輸函數轉化為結構

 

 

衍射光束分束器表面

 

 

衍射光束求解器 - TEA & FMM

 

 

光柵級數 & 可編程光柵分析器

 

 

設計與評估結果：

• 相位函數設計

• 結構設計

• TEA 評估

• FMM 評估

• 高度縮放檢查（用于優(yōu)化/容限）

 

僅相位傳輸設計

 

 

結構設計

 

 

使用TEA進(jìn)行性能評估

 

 

使用FMM進(jìn)行性能評估

 

 

進(jìn)一步的分析（優(yōu)化后，容差分析）

 

 

進(jìn)一步優(yōu)化 - 調整設計#1的零階

 

 

進(jìn)一步優(yōu)化 - 調整設計#2的零階

 

 

進(jìn)一步優(yōu)化 - 調整設計#3的零階