傾斜光柵的魯棒性?xún)?yōu)化

摘要                                                                            

 

 

由于制造過(guò)程中潛在的不準確性，對于一個(gè)好的光柵設計來(lái)說(shuō)，面對光柵參數的微小變化，提供穩健的結果是至關(guān)重要的。VirtualLab Fusion為光學(xué)工程師提供了各種工具，可以將這種行為直接納入優(yōu)化過(guò)程，例如參數變化分析儀。該工具結合了同一系統的多次迭代，在優(yōu)化過(guò)程中實(shí)現了評價(jià)函數的表示和自動(dòng)計算，如平均效率。在這個(gè)用例中，我們通過(guò)稍微改變填充因子來(lái)優(yōu)化傾斜光柵來(lái)演示這個(gè)特性。            

仿真任務(wù)                                                                            

  

 

連接建模技術(shù):傾斜光柵

                                                                     

 

可用的微結構建模技術(shù):

                                                                                

光柵階數分析儀



參數變化分析儀                                                                            

  

                                                                             

 

參數優(yōu)化                                                                            

 

                   

 

優(yōu)化結果-平均效率

                                                   

 

優(yōu)化結果-對比度