如何在PanDao軟件中輸入形狀精度參數？

PanDao軟件當前可以接受ISO10110標準定義的形狀精度參數格式3/A(B)，其中A代表功率公差，B代表不規則性。

 

測量單位是條紋數，表示的是波前偏差（非表面高度偏差），該方法源自光學(xué)大師手工拋光制作測試板（T）進(jìn)行面形偏差測量的傳統技術(shù)（該檢測裝置也見(jiàn)于斐索干涉儀中）。

 

被測表面(S)的面形誤差（表面高度H）是通過(guò)將表面的形狀與測試板(T)的標準形狀（通常精度＜1/20波長(cháng)）進(jìn)行對比測量得到的。具體方法是使測試板反射光(T')與待測面反射光(S')發(fā)生干涉，此時(shí)表面S的高度偏差H在干涉圖中表現為2*H（即波前差）。

 

PanDao軟件默認以546.07nm波長(cháng)（汞綠光譜線(xiàn)）讀取形狀精度參數3/A(B)。546.1nm波長(cháng)的光是由汞蒸氣燈在電激發(fā)下產(chǎn)生的綠色發(fā)射譜線(xiàn)，在激光技術(shù)問(wèn)世前廣泛應用于光學(xué)檢測、對準及校準。根據ISO10110標準，用戶(hù)可通過(guò)修改3/@lambda中的相關(guān)條目來(lái)自由設定其它檢測波長(cháng)。

例如，當不規則性B對應的高度偏差H為1微米時(shí)，B = (1000/546.07)*2 = 3.66條紋；若功率誤差對應高度偏差為2微米，則該表面的形狀精度參數為3/7.32(3.66)。