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      構造二維周期性光柵結構
      時(shí)間:2024-03-19 22:22來(lái)源:訊技光電作者: 技術(shù)部點(diǎn)擊:次打印
      復雜光柵結構被廣泛應用于光譜儀、近眼顯示系統等領(lǐng)域。VirtualLab Fusion 軟件用傅立葉模態(tài)法(FMM,或者RCWA)一種簡(jiǎn)易的仿真方法來(lái)嚴格分析任意的光柵結構。使用圖形用戶(hù)界面,可以設置堆棧的幾何圖形,從而生成復雜的光柵結構。 此例程主要用于構建具有二維周期性特征的光柵。
      • 光柵工具箱中構建二維光柵的方法 − 基于介質(zhì)定義的類(lèi)型 − 基于界面定義的類(lèi)型
      • 計算之前修改高級選項和檢查定義的結構的方法。
      • 提示:在VirtualLab軟件中的光柵結構中,表現為二維周期性的被稱(chēng)作 三維光柵。同樣的,層狀光柵(一維周期性)被稱(chēng)作二維光柵。

      初始化光柵工具箱
      初始化
      開(kāi)始菜單欄 (Start)
      光柵菜單欄(Grating) 
      通用光柵光路圖(三維光柵) General Grating Light Path   Diagram(3D Gratings)
      提示:對于特殊類(lèi)型的光柵,例如柱形光柵,
      可以在光柵工具箱中直接點(diǎn)擊柱形光柵光路
      圖(三維光柵)(Pillar Grating Light
      Path Diagram(3D Gratings))

      設置光柵結構
      首先,需要定義基底(Base Block)的厚度和介質(zhì)。
      VirtualLab中光柵結構在堆棧(stack) 中定義。
      可以在基底的前表面、后表面或者前后表面同時(shí)添加堆棧(stack)。
      例如,圖中在前表面添加了堆棧(stack)。
      基于材料定義光柵的類(lèi)型(例程: 柱形光柵)
      堆棧編輯器

      在堆棧編輯器(Stack Editor)中,界面和材料可以從中目錄(catalog) 中添加。
      • 為了用一種特殊的介質(zhì)定義光柵,需要添加兩個(gè)平面界面,作為介質(zhì)的邊界。

      兩個(gè)平面之間的介質(zhì)類(lèi)型可以是均勻介質(zhì)(homogenous)或者調制介質(zhì)(modulated)。
      使用調制介質(zhì),就可以非常有效地描述復雜光柵結構,如柱形光柵。
      柱形光柵介質(zhì)

      在目錄類(lèi)別中LightTrans預設(LightTrans Defined)下柱形介質(zhì)類(lèi)(pillar media)中可以添加鉻柱(Chromium Pillars)。
      這種介質(zhì)可以仿真柱形結構或者在基底表面打孔的結構。
      此例程中,矩形排布的金屬鉻圓柱位于熔融石英基底表面。
      在堆棧編輯器的視圖中,不同材料根據折射率的高低表示為不同深淺的顏色
      (顏色越深,折射率越高)。
      注意:堆棧編輯器固定顯示x-z平面的橫截面視圖。

      請注意:界面添加的順序固定由基底表面開(kāi)始算起。
      選中的界面會(huì )以紅色突出顯示。
      此外,無(wú)法在此處定義光柵前面的介質(zhì)(指
      最后一個(gè)界面后的介質(zhì))。它會(huì )自動(dòng)從光柵部件前面的材料中提取。
      可以在光學(xué)參數設置編輯器(Optical Setup Editor)中更改這處材料。

      堆棧周期(Stack Period)可以控制整個(gè)結構的周期。
      對于二維周期性光柵,必須在x和y方向分別定義周期。
      該周期也是FMM算法的周期邊界條件。
      對于簡(jiǎn)單的光柵結構,建議選擇與介質(zhì)周期一致 (Dependent from the Period of Medium) 選項,并選擇合適的周期性介質(zhì)的序號。

      鑒于篇幅,全文內容請點(diǎn)此下載文檔。
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