GLAD：光刻成像系統的建模

概述

該系統由一個(gè)聚光鏡、一個(gè)傾斜球體和一個(gè)Schwartzchild設計的中繼鏡組成。光源被成像到中繼鏡的光瞳中。光束在物體掩模處會(huì )聚，在中繼透鏡的光瞳處形成點(diǎn)像。在中繼透鏡的瞳孔處，多條條紋圖案將形成一個(gè)中心波瓣和側波瓣。如下圖所示：

 

 掩模上的條形圖案在中繼瞳孔中產(chǎn)生旁瓣

 窄條產(chǎn)生寬的旁瓣，僅部分通過(guò)中繼入口瞳孔

 寬條產(chǎn)生較窄的旁瓣，更容易通過(guò)中繼入口瞳孔

 部分通過(guò)旁瓣會(huì )產(chǎn)生部分解析
 

系統描述
 

本例介紹了如何采用全局衍射分析對部分相干進(jìn)行建模。如上圖所示，整體裝置是一個(gè)科勒照明系統，其中有一個(gè)聚光元件能夠將非相干光源的光進(jìn)入轉像透鏡的孔徑中。在一個(gè)經(jīng)典的科勒照明系統中，點(diǎn)光源通過(guò)一個(gè)聚光鏡成像在轉像系統的光瞳中。光源照亮物體掩膜面，并在最后的成像面上得到適當的放大。為了對光束合理采樣，光源放在物的共軛點(diǎn)處，這樣在光源面上，點(diǎn)光源將是有一定維度的，而不是像理想點(diǎn)光源那樣，會(huì )引起混沌。對一個(gè)具有一定尺寸的光源，它所成的像就是部分相干的。如果光源足夠大，大到可以填滿(mǎn)轉像透鏡的孔徑的話(huà)，所成的像將是非相干的。

模擬結果
 

三柵條圖樣的部分相干成像

   

兩組七柵條圖樣建模對比