示例.0082(1.0)
關(guān)鍵詞：光線(xiàn)追跡，高數值孔徑，點(diǎn)列圖，光斑尺寸
1. 描述
■ 該案例中闡述了如何利用VirtualLab對一個(gè)具有高數值孔徑的透鏡系統進(jìn)行分析。
■ 我們將對焦面前和焦面上對三維光線(xiàn)結構和二維點(diǎn)列圖進(jìn)行討論。
■ 此外，VirtualLab可用于測量焦平面上的光斑尺寸。
2. 系統
文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
3. 透鏡系統組件編輯
■ 在光路視圖中雙擊透鏡系統元件，可以顯示元件編輯窗口。
■ 透鏡系統是由序列光學(xué)表面（OIS）定義的。
■ 每一個(gè)可選項都有獨立的參數，并可以設定。
■ 包括序列光學(xué)表面和光學(xué)介質(zhì)。
4. 光線(xiàn)追跡系統分析器-選項
■ 分析器允許用戶(hù)指定使用光源的光線(xiàn)選項。
■ 可以選擇選取光線(xiàn)的方法：
— 在x-y-網(wǎng)格
— 六邊形
— 自由選取
■ 每一個(gè)可選項都有獨立的參數，并可以設定。
5. 系統的3維視圖
6. 其他系統參數
■ 系統由單色平面波照明
■ 照明波長(cháng)266.08nm
■ 后端的探測器用來(lái)分析透鏡系統的性能：
— 一個(gè)虛擬屏直接放在透鏡系統后面。
— 一個(gè)虛擬屏位于焦平面
— 光束尺寸探測器置于焦平面
■ 焦平面位于透鏡系統后端748.86um處。
7. 光線(xiàn)追跡系統分析器的結果
光線(xiàn)經(jīng)過(guò)整個(gè)光學(xué)系統的三維視圖
光線(xiàn)經(jīng)過(guò)整個(gè)光學(xué)系統的三維視圖（局部放大）
8. 透鏡系統后虛擬屏的結果
■ VirtualLab可用于計算點(diǎn)列圖。
■ 左側圖片顯示了直接位于透鏡后的虛擬屏所獲得的點(diǎn)列圖。
■ 默認情況下光線(xiàn)顯示的顏色比此波長(cháng)的顏色。本案例中我們使用的是非可見(jiàn)光。
■ 你可以通過(guò)下面的操作將背景顏色該為白色 
9. 焦平面上的結果
■ 在左側圖片中可以看到焦平面上計算出的點(diǎn)列圖。
■ 在探測器結果（Detector Result） 標簽下，給出了光束尺寸。
■ 焦平面上的光斑尺寸為183mm
■ 此外，背景顏色也可以預先設置。
■ 該測量采用均方根（RMS）計算法。
10. 總結
■ VirtualLab Fusion 可利用新的光線(xiàn)追跡引擎對復雜光學(xué)系統進(jìn)行分析。
■ 利用三維光線(xiàn)追跡我們可以對系統進(jìn)行分析，并對位置等信息進(jìn)行概覽。
■ 此外，系統可以直接利用光線(xiàn)追跡引擎進(jìn)行分析。
■ 可用于評價(jià)點(diǎn)列圖，也可以附加其他探測器（如光斑尺寸探測器）。
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