VirtualLab Fusion 軟件可以對光學(xué)測量系統進(jìn)行仿真，如干涉儀、光譜儀以及表面測量器件。
很多光學(xué)測量原理都是基于光的波動(dòng)特性。典型的器件有：
干涉儀
光譜儀&單色儀
表面計量系統
VirtualLab Fusion 軟件可以對這些測量系統進(jìn)行仿真及公差分析。許多設置都是以衍射效應、干涉效應以及時(shí)間和空間相干性為特點(diǎn)。VirtualLab的場(chǎng)追跡引擎進(jìn)行快速精確的測量系統建模的同時(shí)考慮了這些物理光學(xué)效應。
VirtualLab Fusion軟件的特性：
基于物理光學(xué)的計量系統仿真
包含部分相干和衍射效應
尤其對傾斜和偏移的公差分析
真彩色獲取
便于使用的位置概念
干涉條紋的計算
測繪掃描系統的仿真
全譜段高分辨率分析
用于表面拓撲測量的白光邁克爾遜干涉儀的仿真。整個(gè)系統中部分相干的白光可以利用VirtualLab Fusion仿真。
試用軟件和應用示例：
MSY.0003: Czerny-Turner單色儀和光譜儀。( download)
立即 下載VirtualLab Fusion試用版
測量系統(MSY.0001 v1.1)
相干光馬赫澤德干涉儀的仿真
應用示例簡(jiǎn)述
1. 系統說(shuō)明
光源
— 氦氖激光器(波長(cháng)632.8nm；相干長(cháng)度>1m)
組件
— 分束器和合束器，消色差準直透鏡系統，位相延遲器，待測球面透鏡
探測器
— 干涉條紋
建模/設計
— 光線(xiàn)追跡：初始系統概覽
— 幾何場(chǎng)追跡加(GFT+)：
由于白光的部分相干性致使條紋對比度降低。
在高度掃描的同時(shí)光強發(fā)生改變。
2. 系統說(shuō)明
3. 建模/設計結果
4. 總結
馬赫澤德干涉儀的干涉圖樣的計算
1. 仿真
以光線(xiàn)追跡對干涉儀的仿真。
2. 計算
采用幾何場(chǎng)追跡加引擎以計算干涉圖樣。
3. 研究
不同對齊誤差在干涉圖上的影響，如傾斜和偏移
利用VirtualLab軟件可對馬赫澤德干涉儀生成的干涉圖案進(jìn)行研究分析。
測量系統(MSY.0002 v1.1)
白光邁克爾遜干涉儀的仿真
應用示例簡(jiǎn)述
1. 系統說(shuō)明
光源
— 氙氣燈(部分相干白光)
組件
— 分束器和合束器，消色差準直透鏡系統，平面反射鏡，待測繪樣品
探測器
— 表現出不同的干涉效應的強度分布
建模/設計
— 光線(xiàn)追跡：初始系統概覽
— 幾何場(chǎng)追跡加(GFT+)：
由于白光的部分相干性，條紋的對比度降低了
當進(jìn)行高度掃描時(shí)，光強發(fā)生了變化
2. 系統說(shuō)明
3. 建模/設計結果
4. 總結
研究了邁克爾遜干涉儀裝置白光干涉圖案并應用于高度輪廓掃描
1. 仿真
用光線(xiàn)追跡對干涉儀的仿真。
2. 計算
采用幾何場(chǎng)追跡+引擎以計算干涉圖樣。
3. 研究
測繪掃描儀的仿真和樣本高度輪廓的測量
利用VirtualLab軟件可對邁克爾遜干涉儀生成的干涉圖案進(jìn)行研究分析。
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