測量系統(MSY.0002 v1.1)
應用示例簡(jiǎn)述
1. 系統說(shuō)明
光源
— 氙氣燈(部分相干白光)
組件
— 分束器和合束器，消色差準直透鏡系統，平面反射鏡，待測樣品
探測器
— 強度分布表現出不同的干涉效應
建模/設計
— 光線(xiàn)追跡：初始系統概覽
— 幾何場(chǎng)追跡Plus(GFT+)：
部分相干白光會(huì )減少干涉條紋的對比度
掃描樣品的高度輪廓時(shí)光強會(huì )發(fā)生變化
2. 系統說(shuō)明
參考光路
3. 建模/設計結果
4. 總結
邁克爾遜干涉儀裝置白光干涉圖案的研究以及作為高度掃描裝置的應用
1. 仿真
以光線(xiàn)追跡對干涉儀仿真。
2. 計算
采用幾何場(chǎng)追跡Plus引擎以計算干涉圖樣。
3. 研究
測繪掃描儀的仿真和樣本高度輪廓的測量
利用VirtualLab軟件可對邁克爾遜干涉儀生成的干涉圖案進(jìn)行研究分析。
應用示例詳細內容
系統參數
1. 仿真任務(wù)：邁克爾遜干涉儀
通過(guò)使用這種干涉儀裝置，可測量?jì)晒馐g的相對光程差。
事實(shí)上，結合白光光源的有限相干長(cháng)度可以研究樣品的高度輪廓（輪廓掃描干涉儀）。
2. 參數：光源
為仿真部分相干光，采用一個(gè)白光光源(氙氣燈)。
應用氙氣燈用于模仿太陽(yáng)光。
這種氣體放電燈的輻射的光譜與黑體極其相似。
由于41個(gè)波長(cháng)，光譜的形狀是離散的，并具有相應的振幅。
由于輸出區域較小，氙氣燈可視為點(diǎn)光源，并輸出近似球面波。
3. 參數：消色差準直透鏡
為了實(shí)現光源的準直，使用了一個(gè)埃德蒙光學(xué)的非球面消色差透鏡。
通過(guò)使用埃德蒙光學(xué)網(wǎng)站上的Zemax文件將消色差準直透鏡導入到VirtualLab中。
4. 邁克爾遜干涉儀光路圖
增加消色差系統和分束器距離是為了使3D視圖更加清晰(可在光路編輯器中實(shí)現)。
由于VirtualLab的相對位置系統，必須設置Z軸方向的距離。
5. 分光器的設置
為實(shí)現光束分束，采用理想光束分束器。
出于該目的，在光路編輯器中建立兩次光束分束器。
隨后的組件(如相位延遲板和理想的反射鏡)連接到通道0和通道1，對應于光束分束器的兩個(gè)通道。
6. 合束器的設置
直接通過(guò)虛擬屏幕(GFT +)探測器對兩束光進(jìn)行疊加。
為此，必須選擇兩個(gè)輸入通道的疊加（Yes），才能得到期望的干涉圖。
7. 邁克爾遜干涉儀的3D視圖
添加了擴束器和分束器得距離是為了使3D視圖更加清晰(可在光路編輯器中實(shí)現)
應用示例詳細內容
仿真&結果
1. 結果：利用光線(xiàn)追跡分析
首先，利用光線(xiàn)追跡分析光在光學(xué)系統中的傳播。
對于該分析，采用內嵌的光線(xiàn)追跡系統分析器。
2. 結果：相干光源vs部分相干光
采用幾何場(chǎng)追跡Plus引擎計算干涉圖樣。
3. 結果：測量路徑長(cháng)度的變化
對所用白光光源的時(shí)間相干性進(jìn)行研究。
因此，利用參數耦合和參數運行，使測量路徑的長(cháng)度在由199.99mm到200.01mm之間變化。
為生成干涉圖樣，通過(guò)使用絕對方向將反射鏡2傾斜0.005°
結果可以以獨立的文件或動(dòng)畫(huà)進(jìn)行輸出。
由此產(chǎn)生氙氣燈的相干長(cháng)度數量級約為1µm。
4. 輪廓掃描干涉儀
由一個(gè)樣本替換反射鏡2，該樣本具有特定的輪廓。
改變路徑長(cháng)度并結合有限的相干長(cháng)度，可對樣本的高度輪廓進(jìn)行研究。
因此，對于相同的路徑長(cháng)度，接受到的最大光強能夠體現高度等級。
相長(cháng)干涉得到最大光強。
5. 結果：輪廓掃描干涉儀
計算3個(gè)不同路徑長(cháng)度的光強分布(200mm,200.1mm,200.2mm)。
被研究的仿真樣本(具有浮雕結構的1歐元硬幣)表現出3個(gè)明顯不同的高度級，可通過(guò)模擬設置進(jìn)行說(shuō)明。
因此，VirtualLab可對這種基于部分相干光干涉測量的輪廓掃描系統進(jìn)行仿真。
5. 總結
邁克爾遜干涉儀及其在高度掃描儀中白光干涉圖樣的研究
4. 仿真
以光線(xiàn)追跡對干涉儀的仿真。
5. 計算
采用幾何場(chǎng)追跡Plus引擎以計算干涉圖樣。
6. 研究
測繪掃描儀的仿真和樣本高度輪廓的測量
利用VirtualLab軟件可對邁克爾遜干涉儀生成的干涉圖案進(jìn)行研究分析。
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以下文件給出了在VirtualLab中如何設置測量系統的更多細節。
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其他測量系統示例：
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